潔凈棚的測量標準主要基于ISO 14644-1標準,該標準對潔凈室的潔凈度進行了分類,從而方便實施、測試和記錄。根據該標準,對于不同的潔凈度硬件及控制要求,需要使用不同的設備測量。以下是常見的測量設備和標準:
1.粒子計數器:用于測量空氣中的顆粒數目。根據ISO 14644-1標準,空氣中顆粒的濃度應該按照每立方米的最大顆粒數進行統計。例如,對于Class 5(ISO 5)級別的潔凈室,每立方米的最大顆粒數應該小于100。
2.風速儀:用于測量空氣流速,以確保潔凈棚內部空氣的流動符合設計要求。根據ISO 14644-1標準,潔凈棚中的空氣流速應該在某一特定的范圍內。
3.溫濕度計:用于測量潔凈棚內部的溫度和濕度。根據各行業(yè)的標準和要求可能略有不同,一般潔凈棚內部的溫度和濕度需要根據生產、測試和儲存的產品要求來進行控制。
4.壓差計:用于測量潔凈棚中的正負壓差。正負壓差是潔凈棚中,壓力空間之間的壓力差,控制這個差值可以有效地保證潔凈棚的潔凈度。
判定潔凈棚的潔凈度通?;诓煌墑e潔凈度的顆粒數及各方面參數的監(jiān)控測量結果。標準要求每個級別的潔凈度都應該滿足特定粒子數和壓差范圍等要求。如果經常對潔凈棚的各項參數進行測量和監(jiān)控,以及及時對參數不正?;虬l(fā)生趨勢變化的潔凈棚進行及時維修。