潔凈棚的潔凈度是依據(jù)懸浮顆粒物的數(shù)量來評(píng)定的。具體的標(biāo)準(zhǔn)和等級(jí)分類因國家或者地區(qū)的不同而有所差異,一般采用的國際標(biāo)準(zhǔn)是ISO 14644-1。該標(biāo)準(zhǔn)將潔凈度分為等級(jí)1至9,其中等級(jí)1是最高級(jí)別的潔凈度。各等級(jí)的潔凈度要求如下:
-Class 1:≤10(0.1μm)particles/m3
-Class 2:≤100(0.1μm)particles/m3
-Class 3:≤1,000(0.1μm)particles/m3
-Class 4:≤10,000(0.1μm)particles/m3
-Class 5:≤100,000(0.1μm)particles/m3
-Class 6:≤1,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 7:≤10,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 8:≤100,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 9:>100,000,000(0.1μm)particles/m3
需要注意的是,具體的潔凈度要求會(huì)根據(jù)產(chǎn)品的不同而有所不同。因此在實(shí)際應(yīng)用中,需要針對(duì)不同的產(chǎn)品和應(yīng)用場(chǎng)景確定具體的潔凈度要求,并對(duì)相應(yīng)的潔凈棚進(jìn)行設(shè)計(jì)、建設(shè)、運(yùn)營和維護(hù)。
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